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方案概述

半導(dǎo)體行業(yè) AMC 監(jiān)測(cè)解決方案聚焦于對(duì)潔凈環(huán)境中的氣態(tài)分子污染物進(jìn)行精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)。通過(guò)在晶圓制造、封裝測(cè)試等關(guān)鍵區(qū)域布點(diǎn)，采用先進(jìn)的傳感器技術(shù)，如化學(xué)電離質(zhì)譜儀、氣相色譜儀等，實(shí)時(shí)檢測(cè)酸、堿、有機(jī)化合物等 AMC 成分及濃度。數(shù)據(jù)經(jīng)采集與傳輸系統(tǒng)匯總至監(jiān)控平臺(tái)，利用專(zhuān)業(yè)軟件分析數(shù)據(jù)趨勢(shì)、濃度分布等，為及時(shí)調(diào)整凈化系統(tǒng)、優(yōu)化工藝、保障芯片良率提供關(guān)鍵依據(jù)，確保半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的超潔凈與穩(wěn)定性。

方案優(yōu)勢(shì)

監(jiān)測(cè)精準(zhǔn)性

運(yùn)用高靈敏傳感器，精確捕捉微量 AMC 信息。

技術(shù)先進(jìn)性

采用前沿監(jiān)測(cè)技術(shù)，適應(yīng)復(fù)雜半導(dǎo)體工藝。

布點(diǎn)科學(xué)性

依生產(chǎn)流程關(guān)鍵處布點(diǎn)，全面覆蓋風(fēng)險(xiǎn)區(qū)域。

數(shù)據(jù)實(shí)用性

分析數(shù)據(jù)助力工藝優(yōu)化與環(huán)境調(diào)控決策。

系統(tǒng)集成性

整合監(jiān)測(cè)、傳輸、分析模塊，高效協(xié)同運(yùn)作。

方案構(gòu)成

建立先進(jìn)的監(jiān)測(cè)設(shè)備體系，包括高精度的化學(xué)電離質(zhì)譜儀、氣相色譜儀等，分布于晶圓制造、光刻、刻蝕等關(guān)鍵工藝區(qū)域，以檢測(cè)酸、堿、有機(jī)及金屬氣態(tài)分子污染物。其次是數(shù)據(jù)采集傳輸模塊，將監(jiān)測(cè)設(shè)備獲取的數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)收集并通過(guò)有線或無(wú)線方式穩(wěn)定傳輸至數(shù)據(jù)處理中心。再者是數(shù)據(jù)分析與管理平臺(tái)，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行整理、存儲(chǔ)，運(yùn)用專(zhuān)業(yè)算法分析污染物濃度變化趨勢(shì)、分布規(guī)律等，生成可視化報(bào)告。最后還有預(yù)警系統(tǒng)，當(dāng)污染物濃度超出預(yù)設(shè)閾值時(shí)，及時(shí)發(fā)出警報(bào)通知相關(guān)人員，以便迅速采取措施調(diào)整生產(chǎn)環(huán)境凈化參數(shù)或工藝條件，保障半導(dǎo)體生產(chǎn)不受 AMC 影響，確保芯片制造良率與產(chǎn)品質(zhì)量。

行業(yè)應(yīng)用